昊華氣體獲河南省重大科技專項(xiàng)立項(xiàng)支持 |
時(shí)間:2022-08-09 來源:昊華公司 視力保護(hù)色: |
日前,河南省科技廳、財(cái)政廳發(fā)布《關(guān)于2022年度河南省重大科技專項(xiàng)立項(xiàng)的通知》,昊華氣體聯(lián)合申報(bào)的“集成電路用電子化學(xué)品關(guān)鍵技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化”獲立項(xiàng)支持。 該項(xiàng)目瞄準(zhǔn)集成電路制造用電子材料,開展硅基基礎(chǔ)材料、電子氣體和光刻膠中間體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,助力我國在器件核心材料制造等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破。昊華氣體承擔(dān)該項(xiàng)目子課題“光電子級(jí)超純氨的工藝研究和產(chǎn)業(yè)化任務(wù)”。 河南省重大科技專項(xiàng)聚焦國家重大戰(zhàn)略需求、河南省轉(zhuǎn)型發(fā)展需要,重點(diǎn)圍繞產(chǎn)業(yè)發(fā)展和服務(wù)民生公益的重大關(guān)鍵核心技術(shù),提質(zhì)龍頭骨干企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新水平,支撐產(chǎn)業(yè)升級(jí)發(fā)展。 |